반도체 및 전자 산업에서 Si(실리콘) 컴포넌트를 에칭 처리하는 과정은 필수적인 공정 중 하나이다. 그러나 이 과정에서 다량의 산(Acid)과 알칼리(Alkali) 폐기물이 발생하며, 이를 적절히 처리하지 않으면 환경오염 및 비용 문제가 발생할 수 있다. 이에 따라 폐기물을 효율적으로 재활용하는 방법이 점점 중요해지고 있다. 이번 블로그에서는 Si 컴포넌트 에칭 후 Acid와 Alkali 폐기물을 재활용하는 다양한 방법과 그 기술적 원리를 살펴보겠다. 1. Acid와 Alkali 폐기물의 특성 Si 컴포넌트 에칭 과정에서는 주로 아래와 같은 화학물질이 사용된다: - 산(Acid): 질산(HNO₃), 황산(H₂SO₄), 플루오르화 수소(HF) 등이 포함된다. - 알칼리(Alkali): 수산화나트륨(NaOH..
