다음은 물리적 분순물(Physical particle) 제어를 위한 두 번째 시간으로, 분석의 주를 이루는 장비는 ICP 장비와 SEM 및 LPC, IC 등이다.ICP의 경우 좀더 분석의 미세감도를 요한 분석을 위해서 ICP-MS를 사용하며, 기체 액체 고체 시료들을 전처리 화하여 분석한다. 액체분석은 보편적이지만, 컴포넌트 표면분석에서는 SEM 장비보다 좀 더 정확한 수치를 보여준다.SEM은 EDS 디텍터를 추가하여 감마선을 이용한 정성분석을 많이 사용한다. 세정업체는 SEM-EDS장비를 많이 선호 한다. 이유는 불순물(파티클) 이슈가 발생했을 때 강점인 신속하게 눈으로 확인 및 사이즈까지 확인이다. 추가로 성분까지 확인가능하여 많은 업체들이 분석업체보다는 직접 사내에 설치한 경우가 많다. 하지만 정확..